多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
基本信息
批准号：10305008
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：32.00
负责人：辛煜
学科分类：
依托单位：苏州大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：宁兆元,甘肇强,许圣华,黄松,狄小莲
关键词：
ICP等离子体源耦合等离子体均匀性刻蚀
结项摘要
本项目的研究重点将放在大面积多线圈的ICP等离子体耦合特性以及等离子体均匀性方面。通过对单线圈ICP等离子体的耦合特性研究提出一个基本的等离子体阻抗模型，为确定多线圈ICP等离子体的网络匹配参数提供依据；研究多线圈的几何结构、位形配置、线圈之间的互感、匝间距与匝数等对感应耦合等离子体的电子温度、密度以及能量分布的影响规律；根据实验结果，修正多线圈ICP等离子体的阻抗模型；阐明宏观参量对产生大面积均
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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