W-Mo/Mg-Al合金的化学机械磨蚀机理及方法研究

基本信息

批准号：10676008

项目类别：联合基金项目

资助金额：40.00

负责人：刘玉岭

学科分类：

依托单位：河北工业大学

批准年份：2006

结题年份：2009

起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31

项目状态：已结题

项目参与者：何建国,牛新环,舒行军,王胜利,张建新,刘博,贾英茜,刘长宇,孙明

关键词：

工艺参数优化WMo/MgAl合金磨蚀浆料制备化学机械磨蚀机理

结项摘要

本项目主要研究W－Mo/Mg-Al合金等材料的CMP机理，专用材料CMP浆料的优化设计与制备方法，抛光垫-磨蚀浆料-工件系统之间各因素的相互作用及其对抛光速率、精度与表面层组织的影响；研究W－Mo/Mg-Al合金CMP后处理清洗过程与方法、清洗剂的配方及其对工件表面组织的影响；同时研究亚微米级磨蚀去除量的在线（位）测量与控制方法、亚微米级平面度与平行度、表面微观缺陷的检测方法；研究W-Mo/Mg-

项目摘要

项目成果

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数据更新时间：2023-05-31

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发表时间：2017

DOI：https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2018.09.243

发表时间：2018

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