纳米尺度长度标准样品的的高精度批量制造

纳米长度的计量和检测是纳米技术研究中的一个关键性的基础问题。如果不能测量，就更不可能制造，只有建立成功的测量学基础框架，才有可能实现研发和制造新的纳米材料、纳米器件和纳米产品。扫描电子显微镜是实现纳米级长度测量最佳的工具之一，但要实现将扫描电子显微镜用于精确测长，必须拥有扫描电子显微镜测长用的长度标准样品。由于纳米尺度加工与制造设备和技术等方面的限制，纳米尺度长度标准样品的制造在国内外都面临挑战。本项目通过合理的结构设计，综合利用紫外光刻技术、电子束曝光技术、镀膜技术，刻蚀技术，优化曝光工艺、溶脱工艺、刻蚀工艺及对准套刻工艺，从而实现扫描电子显微镜用纳米尺度长度标准样品精确批量制造，形成微加工方法的标准化。扫描电子显微镜用长度标准样品的精确、批量的制造，可以全面提升我国纳米科技研究的基础力量，具有重大的社会效益，为我国研发微纳米尺度加工制造设备提供基础支撑，必将产生潜在的重大的经济效益。

本项目通过合理的结构设计，优化微纳加工工艺，实现栅距为400nm、200nm和100nm扫描电子显微镜用纳米尺度长度标准样品精确批量制造，形成微加工方法的标准化，对制备的样品进行了表征，完成了对栅距为400nm的标准样品的溯源定值、均匀性及稳定性测试以及不确定度分析，并成功的召开了纳米尺度长度标准样品的成果鉴定会，进而申报扫描电镜测长用国家一级标准物质。