光电集成加速度地震检波技术的理论和实验研究

光电集成加速度地震检波技术理论与实验研究。光波导M—Z干涉仪、硅“重物”简谐振子、探测器、处理电路单片集成并与光源混合集成研究，系统优化设计。M—Z干涉仪与硅“重物”简谐振子的特性参数设计计算结构优化与单片集成。信号检测、温度补偿、处理电路、系统参数测试与模拟实验，研制出宽频带、高分辨率、高稳定性、抗电磁干扰，可批量生产的加速度检波器。