平板显示器件中ITO腐蚀规律及其机理研究

对平板显示器件中的ITO-金属的腐蚀规律及机制进行系统研究，给出腐蚀对显示器件性能影响的实验规律和防护工艺。研究杂质，酸碱，电场等因素对ITO腐蚀的影响；用电化学方法研究ITO-金属的扩散界面反应机制，ITO-有机层的界面腐蚀机制；研究电迁移加速对ITO-金属界面反应的影响；研究利用防护涂层和表面处理的方法对ITO-金属腐蚀进行有效的防护。该研究对了解ITO-金属腐蚀规律、机制以及其导致的显示器件性能降低规律具有重要的科学意义，并可为相关显示器件失效分析、寿命评估、稳定性研究、腐蚀防护工艺等提供指导。