大功率纳米级驱动新原理的研究
基本信息
批准号：59875038
项目类别：面上项目
资助金额：10.00
负责人：杨圣
学科分类：
依托单位：南京航空航天大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴晓琳,吴贤莉,刘文
关键词：
纳米驱动器纳米加工纳米技术
结项摘要
纳米加工是纳米技术的重要基础和核心内容之一，实现纳米加工离不开纳米级测控，而纳米微驱动是纳米级测控的关键技术，大功率高刚度是纳米微驱动急待攻克的难题。本课题取压电微驱动器和电磁微驱动器之优点，并用自行研制的微耦合装置将二者取长补短，实现大功率高刚度纳米级驱动。本项研究的成功将使纳米加工设备和技术取得突破性进展。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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