大功率纳米级驱动新原理的研究

纳米加工是纳米技术的重要基础和核心内容之一，实现纳米加工离不开纳米级测控，而纳米微驱动是纳米级测控的关键技术，大功率高刚度是纳米微驱动急待攻克的难题。本课题取压电微驱动器和电磁微驱动器之优点，并用自行研制的微耦合装置将二者取长补短，实现大功率高刚度纳米级驱动。本项研究的成功将使纳米加工设备和技术取得突破性进展。