全固态可调谐紫外、深紫外相干辐射产生的研究

深紫外全固态激光器（DPL）在深紫外激光光谱学、光化学、医疗、微机械、微电子、科研等领域有重要应用。例如深紫外DPL有可能取代准分子激光器成为新一代光刻技术使用的光源。深紫外177.3nm DPL目前已成功用于光电子能谱仪光源，并首次直接观察到CeRu2超导电子态密度的细微变化，为高温超导体的超导机理研究提供重要实验依据，同时可调谐深紫外DPL是能谱学、光谱学研究人员梦寐以求的新光源。.我们拟研制高平均功率全固态纳秒/皮秒准连续1064nm激光器，倍频产生高功率、高光束质量532nm谐波，以其为泵源，泵浦OPO(OPG)/OPA产生可调谐参量光,将该参量光倍频至紫外－可见波段，再经KABO和频或KBBF倍频实现调谐范围190～210nm波段的紫外－深紫外可调谐激光输出，为进一步研究产生更短波长范围的深紫外可调谐激光奠定基础。