高电荷稳定性Si3N4/SiO2双层驻极膜性能和储电机制研究
基本信息
批准号：59682003
项目类别：专项基金项目
资助金额：12.00
负责人：夏钟福
学科分类：
依托单位：同济大学
批准年份：1996
结题年份：1999
起止时间：1997-01-01 - 1999-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张红焰,林华茂,吕美安,曹阳,朱建伟
关键词：
Si3N4/SiO2双层膜驻极体储电机制
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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