半导体中缺陷和界面的结构性质研究

基本信息
批准号:68876111
项目类别:面上项目
资助金额:3.00
负责人:褚一鸣
学科分类:
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年份:1988
结题年份:1991
起止时间:1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:王凤莲,李成基,陆珉华,宁先捷,刘学峰,姜彤弼
关键词:
电子显微术缺陷界面
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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