基于三维可控超声辐射力场的微构件遥操纵技术的研究

本项目旨在探讨利用超声波辐射力实施对微机电系统的基本组成单元- - 微构件进行无损、非接触遥操纵的理论和方法。主要研究内容包括：作用于复杂形状微构件上的超声辐射力计算理论，实现三维超声辐射力场精确控制的理论与方法，对复杂形状微构件具有无损、非接触三维俘获能力的声俘获法以及用于微构件较大空间范围内连续移动与旋转遥操纵的逐级递推全程定位技术。.本项目的成功实施必将为微机电系统的研究、制造奠定重要的理论基础，同时也为该领域提供一种原创性的共性技术手段。研究成果将在微小物体的抓取、传输、装配、分拣和声悬浮等方面得到直接应用，还有望在微量力、微刚度等微力学量的无损、非接触检测以及超声非接触驱动等方面具有广阔的应用空间。