X射线干涉技术应用于纳米测量的研究

X射线干涉测量以单晶硅的晶格为长度单位实现纳米测量，具有绝对的亚纳米精度。本课题建立X射线干涉纳米测量系统的仿真软件，实现对干涉器件的优化设计。提出了非对称结构微动工作台的设计思想，并对超高精度微动工作台的规律进行了探讨。建立了完整的X射线干涉纳米测量系统，实现了亚纳米长度测量。利用该技术进行STM样板结构尺寸的测量研究，并进行了二维X射线干涉纳米测量的研究工作。通过与联邦德国物理技术研究院进行合作。使该研究以国际水平为起点，在对X射线干涉纳米测量研究基础上，开拓了在SPM校验领域的应用研究工作，处于国际领先水平。该研究不仅填补了国内空白，并且引起国外同精密计量领域同行的重视。