等离子体鞘结构对DCPCVD金刚石成膜的影响
基本信息
批准号：59282023
项目类别：专项基金项目
资助金额：6.00
负责人：丁卫星
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：1992
结题年份：1995
起止时间：1993-01-01 - 1995-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
***
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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