电容式射频辉光放电的电极鞘层结构与电子加热模式
基本信息
批准号：19875033
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：林揆训
学科分类：
依托单位：汕头大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：林璇英,李美亚,王洪,梁厚蕴,余云鹏,林舜辉,余楚迎,林旭升,池凌飞
关键词：
射频辉光放电鞘层结构电子加热模式
结项摘要
综合测试硅烷射频辉光放电等离子体中硅氢基团、电子密度和能量分布函数的空间分布，研究电极的鞘层结构和电子加热模式及其变化对硅烷等离子体空间反应过程和薄膜沉积过程的影响。建立薄膜的沉积机理的模型，优化制备优质非晶硅薄膜的工艺流程。为电容式射频光放电等离子体化学气相沉积系统的设计提供可靠的数据和坚实的实验基础..
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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