光学镜面高精度高分辨率干涉测量方法与关键技术研究

现代光学系统对光学镜面误差的要求在不断提高和丰富，具体表现在全口径内高、中、低频误差都在向纳米、亚纳米级精度逼近。因此光学镜面的干涉测量必须将干涉仪参考面误差分离出来，同时提高测量分辨率。针对现有技术的不足，项目提出一种基于子孔径拼接的高精度高分辨率干涉测量方法，利用子孔径重叠区的冗余数据，在拼接得到全口径面形误差的同时，分离出参考面误差，同时提高横向分辨率。项目从几何学观点出发，借助李群李代数方法和机器人运动学理论，建立高精度子孔径拼接模型和参考面误差分离模型；研究高精度子孔径拼接和参考面误差分离的高效、高精度算法；考虑高分辨率要求和分离参考面所需的数据冗余度要求，研究子孔径划分的理论与算法；研制测量实验装置，通过理论推导结合实验和仿真分析，估计测量结果的不确定度，形成一套基于子孔径拼接的光学镜面高精度高分辨率干涉测量不确定度理论。