用于非球面测量的数字莫尔高速移相干涉术研究

基本信息
批准号:60278027
项目类别:面上项目
资助金额:13.00
负责人:郝群
学科分类:
依托单位:北京理工大学
批准年份:2002
结题年份:2004
起止时间:2003-01-01 - 2004-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:沙定国,朱秋冬,苏大图,宋勇,刘惠兰,何林
关键词:
莫尔移相干涉非球面
结项摘要

研究一种全信高速高精度数字莫尔移相干涉术,以实现大非球面度各种凹凸非球面的检测。用补偿透镜部分补偿非球面,实现大非球面度度测量。用数字技术构造虚拟非球面标准面,建立算法实现数字莫尔移相干涉。研究以标准球面标定系统误差。该研究将突破目前移相干涉法存在的抗干扰能力差,检测非球面不方便等问题,极大地提高我国非球面的检测水平..

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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