研究一种全信高速高精度数字莫尔移相干涉术,以实现大非球面度各种凹凸非球面的检测。用补偿透镜部分补偿非球面,实现大非球面度度测量。用数字技术构造虚拟非球面标准面,建立算法实现数字莫尔移相干涉。研究以标准球面标定系统误差。该研究将突破目前移相干涉法存在的抗干扰能力差,检测非球面不方便等问题,极大地提高我国非球面的检测水平..
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数据更新时间:2023-05-31
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