高强度脉冲软X光光源的研究*3
基本信息
批准号：18974032
项目类别：面上项目
资助金额：6.00
负责人：罗承沐
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：罗承沐,陈梦真,孙宝银,李成榕,张贵新
关键词：
X光光源X光光刻术
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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