一种提高钛酸锶钡(BST)薄膜铁电性的新工艺研究
基本信息
批准号：60306011
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：7.00
负责人：张五星
学科分类：
依托单位：华中科技大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：赵伯芳,周雪梅,曾祥斌,尹盛,刘陈,金茂竹
关键词：
粉末溶胶法钛酸锶钡铁电薄膜微槽粉末沉淀法
结项摘要
本项目创造性的提出一种基于有凹槽的硅片上的粉末溶胶工艺，该工艺被用于制备高铁电性的BST铁电薄膜。该项目主要研究用溶胶沉淀法制备BST纳米微晶的工艺及BST纳米微晶的形成机理；掌握用粉末溶胶法在有凹槽的硅片上制备具有大晶粒的BST铁电薄膜工艺；分析衬底上微槽的引入对BST薄膜致密性和厚度均匀性的影响；研究BST溶胶和BST微晶二元系统中的晶粒生长规律，最后制备出高铁电性的BST铁电薄膜，使其能够用
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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