本项目主要从研究STM仪器对振动的敏感特性出发,对基于隧道效应的纳米级振动传感器的理论、技术及实现方法进行研究和探索,在此基础上研制传感器的样机模型,进行振动检测试验。由于基于隧道效应的测振传感器具有与STM仪器一致的振动响应特性,振动测量的结果可以作为STM仪器的振动补偿,提高此类仪器的测量精度;同时,由于这种传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性,所以也可以作为独立传感器使用。由于许多物理量可
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数据更新时间:2023-05-31
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