光热调制激光波长的抗干扰纳米干涉测量技术的研究

本项目拟研究开发一种排除外界干扰的，既能用于信息技术、精密加工等领域，又能用于微电子机械领域的纳米精度干涉测量技术。本研究采用半导体激光器作为光源，采用正弦相位调制技术使测量精度提高到１纳米，采用光热调制及误差负反馈技术消除外界干扰等造成的测量误差。简单的结构，良好的抗干扰性能及纳米精度，使得该技术有很好的应用前景。