微腔谐振器作为光开关,滤波器,波分复用器在光通信中具有重要.应用前景。采用数值计惴椒ǚ治黾扑愫脱芯啃痴衿鞑ǖ贾械牡绱?场分布,耦合系数,辐射损耗等各参数,采用键合-腐蚀,光刻,.湿法及干法刻蚀技术形成波导及其上面的微碟型腔结构,研制出垂直.耦先傻臀⑶恍痴衿鳎芯科渥杂晒馄追段Ь赋J?振线宽等光学性质及微腔效应。.
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数据更新时间:2023-05-31
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