微机械气体摆式全方位水平姿态传感器

利用密闭腔内自然对流气体的摆特性、正八角形敏感元件结构和微机械加工技术研制微机械气体摆式全方位水平姿态传感器。重点研究内容包括：不同方位角和不同倾角情况下敏感元件内的温度场和流场分布特点；对称设置的热敏电阻处的温度在不同倾角情况下的差异；密闭腔体的结构尺寸、热源温度、热敏电阻的设置对传感器性能的影响；敏感元件的制作工艺；全方位水平姿态信号处理模块等。这种传感器不受方位角的限制，敏感载体的水平姿态；将气体摆理论和微机械加工技术有机的结合起来，解决了气体摆式倾角传感器长期存在的一致性差的问题，有利于实现批量生产。与现有气体摆式倾角传感器相比，这种传感器体积缩小60倍，响应时间缩短50％，具有耐高过载、成本低、结构简单、重量轻、技术密度高等特点，符合传感器的发展方向，产品可用于汽车、头盔、机器人等载体的测量和控制系统。该传感器未见国内外报导，有科学意义和很强的实用意义。