设计了离子收集系统,成功测量了在磁镜场中等离子体能量分布、等离子体温度等微观输运特性参数。利用蒙特卡罗方法计算了外磁场对等离子全输运过程的影响,结果表明利用外磁场可大大增加电子和离子的密度等。详细考虑了基底表面吸附粒子与最近邻和次近邻粒子间的相互作用,首次研究了等离子体近表面离子能量对薄膜生长初期形貌的影响,结果表明低能离子照射增加了吸附粒子表面扩散能力,改善了薄膜生长过程;随离子能量升高,薄膜形貌经历了从分形、分枝到紧密生长过程,这与实验结果吻合。由于高能离子溅射作用,薄膜表面成核点增加,促进了表面吸附粒了的凝聚,加快了薄膜生长。课题研究中曾应邀到国际会仪上做学术报告。
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数据更新时间:2023-05-31
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