择优取向无铅压电陶瓷膜的制备及其性能研究
基本信息
批准号：50772050
项目类别：面上项目
资助金额：34.00
负责人：李敬锋
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2007
结题年份：2010
起止时间：2008-01-01 - 2010-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：赖风平,徐莹,祝志祥,刘大为
关键词：
微驱动器压电陶瓷薄膜无铅压电陶瓷铌酸钾钠
结项摘要
随着压电陶瓷无铅化技术的发展和压电陶瓷薄膜研究的不断深入，性能优良的无铅铁电/压电薄膜研发必将受到极大关注，且具有重要的应用背景和学术价值。本课题拟采用溶胶－凝胶工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基板上制备铌酸钾钠（KNN）基无铅压电陶瓷膜，通过在基板表面引入氧化物晶种控制压电膜的结晶取向择优生长，获得具有高度取向的织构型陶瓷膜。研究KNN基压电陶瓷膜的结晶取向与压电/铁电性能之间的关系，从而制备出压电性能优良的用于MEMS微驱动器的KNN基压电陶瓷膜。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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