超纳米金刚石薄膜残余应力及结合强度研究

近年来，随着MEMS技术的发展，对材料的要求越来越高，使得合成表面光滑的金刚石薄膜成为CVD合成金刚石薄膜中的一个重要研究方向。本项目拟在本单位研制的超纳米金刚石薄膜基础上，采用分子动力学方法模拟金刚石薄膜的生长过程以及残余应力的形成机理，考虑沉积温度和薄膜厚度对残余应力的影响。基于一维应力波理论和霍普金森压杆技术，探索一种测量金刚石薄膜与基体结合强度的新实验方法。在模拟和实验测量的基础上提出一个适用于金刚石薄膜工程应用的破坏准则。