慢波驱动MEMS微电机微波电磁理论研究

本项目将在已结题的"面向MEMS微电机的运动周期介质微波电磁理论研究"基金课题基础上，进一步面向MEMS微电机，探索通过电磁慢波激励运动周期波导实现电磁能到机械能的转换的新的电机工作原理，研究其微波电磁理论，解决静止和匀速运动的周期介质中的电磁慢波与介质相互作用有关的科学问题。作为电机学与电磁学交叉领域中的一项基础研究，本项目的研究结果将不仅适用于MEMS中具有新原理、新功能和新结构的连续运动部件的传感器和执行器，而且可能发现新的物理效应并在其它许多相关方面开辟更为广泛的研究和应用领域。直接相关的领域还有卫星、宇航、无线传感器网络、生命科学与工程等，特别是在涉及RF和微波的系统和应用中会具有独特的优势。有关科学问题的解决对电机学和电磁学的发展也将产生促进作用。