柔性平板波压差微流量传感技术研究

本项目以各种微流体分析系统广泛应用为研究背景，在前期工作的基础上，以提高微流体系统中流体流量检测的动态范围和灵敏度为目标，提出一种基于柔性平板波（LAMB波）压力测试原理的压差式微流量测试方法。结合压电学、波动力学、流体力学及结构优化设计技术对柔性平板波压差微流量传感技术的原理、方案进行研究，建立其动力学模型；以微细加工技术为基础，构造传感单元原理样机；综合考虑其工作的流体环境要求，结合驱动电路，构造适当的工作模式，研究噪声的来源及抑制方法；通过将输入压力控制转化为对位移的精确控制，研究合适的微流量标定方法。利用柔性平板波具有高灵敏度及大动态测试范围的特点，该研究可以使微流体系统具有更加精确的分析及定量能力，扩展其应用范围。同时，也能够使与之相关的科学问题（微小管道内流体的流动特性，粘滞阻力等）的研究更加深入，结果具有更高的可信度。