基于边缘电容效应原理的位移传感器的研究

在本课题中，我们将测头极板做得很薄，并将它与被测面垂直放置（在传统的电容传感器中是平行放置），且保持一定的间隙。根据电磁场理论，若在两垂直极板间加上一定电压，那么它们之间就形成一个电场，即边缘场，它们的电容量与测量间隙成一定的函数关系，只要测出电容量的大小，就可测得微小的间隙的变化情况。经反复冲压，烧结，粘结和镀银等工艺过程，制成了各种不同性能的测头，并测得了它们的参数与技术性能间的关系，所此作了孔径测量实验。用反卷积法和已知的被测表面可测出测头的系统函数，同样又可测出未知被测表面的起伏情况，这样可提高测量的空间鉴别率.此类传感器可用于高鉴别率、低灵敏度情况下的孔径，表面光洁度等微位移测量。