面向光子集成的半导体光子晶体有源与无源器件关键技术研究

光子晶体是近年来迅速发展的新一代微纳结构材料，基于其光子能带结构所特有的带隙限制导波和微腔谐振效应等物理特征,不仅可实现传统光电子器件难以实现的许多功能，还使微纳尺度超小型化光子集成回路的实现成为可能。本项目将以光子晶体有源、无源器件及其集成技术中最重要的基本功能单元-带隙限制光波导和谐振腔-的研究作为切入点，考虑InGaAsP和硅基两种材料系统，采用二维平板光子晶体作为器件研究的结构平台，着眼于光子集成技术的发展，选择若干重要的无源器件（耦合器、滤波器、反射镜）、有源器件（激光器、放大器）及其集成的技术难点开展自主创新研究，形成从光子晶体材料到功能器件及其集成化技术的完整研究体系,在理论设计、工艺实现到测试技术方面取得关键性突破，为进一步实现光子晶体集成光路打下坚实的基础。本项目研究目标的实现，将使我国在光子晶体材料引发的新一轮光信息技术发展的国际竞争中掌握核心知识产权，获得致胜先机。