非平衡磁控溅射ICP增强电离会切磁场约束沉积技术
基本信息
批准号：50277003
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：任春生
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张家良,刘艳红,邹学平
关键词：
非平衡磁控溅射电感藕合等离子体会切场
结项摘要
采用非平衡磁控溅射点会切磁场约束的ICP增强电离技术，形成高沉积率高电离度的沉积系统；研究会切磁场与溅射源磁场交联分布对溅射产物的速度分布溅射效率和电离度的影响规律；研究会切磁场分布对屏蔽环自偏压的影响规律；研究会磁场分布对ICP的电子浓度电子温度的影响。这种技术可应用于微电子半导体等高技术领域。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
低轨卫星通信信道分配策略
低轨卫星通信信道分配策略
DOI：10.12068/j.issn.1005-3026.2019.06.009
发表时间：2019
2
基于余量谐波平衡的两质点动力学系统振动频率与响应分析
基于余量谐波平衡的两质点动力学系统振动频率与响应分析
DOI：10.6052/1672⁃6553⁃2017⁃059
发表时间：2018
3
Wnt 信号通路在非小细胞肺癌中的研究进展
Wnt 信号通路在非小细胞肺癌中的研究进展
DOI：
发表时间：2016
4
瞬态波位移场计算方法在相控阵声场模拟中的实验验证
瞬态波位移场计算方法在相控阵声场模拟中的实验验证
DOI：
发表时间：2020
5
基于LBS的移动定向优惠券策略
基于LBS的移动定向优惠券策略
DOI：10.3969/j.issn.1005-2542.2020.02.009
发表时间：2020
任春生的其他基金
批准号：51437002
批准年份：2014
资助金额：360.00
项目类别：重点项目
批准号：11475038
批准年份：2014
资助金额：120.00
项目类别：面上项目
批准号：51077008
批准年份：2010
资助金额：39.00
项目类别：面上项目
批准号：11175037
批准年份：2011
资助金额：76.00
项目类别：面上项目
批准号：10775027
批准年份：2007
资助金额：36.00
项目类别：面上项目
批准号：51777026
批准年份：2017
资助金额：65.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
批准号：50407015
批准年份：2004
负责人：牟宗信
学科分类：E0705
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
2
强磁场磁控溅射的基础研究
批准号：51277172
批准年份：2012
负责人：邱清泉
学科分类：E0705
资助金额：88.00
项目类别：面上项目
3
磁场辅助等离子体增强原子层沉积技术中的物理问题研究
批准号：11175024
批准年份：2011
负责人：陈强
学科分类：A2907
资助金额：68.00
项目类别：面上项目
4
周期磁场约束化学气相沉积金刚石的研究
批准号：21271188
批准年份：2012
负责人：余志明
学科分类：B0104
资助金额：80.00
项目类别：面上项目