新型薄膜微纳无源器件模型及其关键技术问题研究

随着技术发展和工艺进步，毫米波集成电路(MIMMIC)进入了纳米时代，集成电路的工作频率已突破了60GHz，器件的fmax超过了135GHz。毫米波数模混合的SOC技术的研究将极大推动宽带信息系统的超高速、小型化、低成本的发展。但是由于硅工艺的微纳米尺度下的无源器件,例如传输线、集成电感、滤波器等片上系统所需的元器件的设计理论与方法存在一系列亟待解决的科学问题。本项目将从研究新型Si基氧化物薄膜多层介质的电磁特性入手，解决Si基薄膜微纳传输线传输损耗和衬底高频效应问题，提出一种薄膜微纳传输线模型；研究和建立微纳无源器件场－路混合模型与快速参数提取方法，建立一套能直接嵌入到专业设计软件中通用无源电路模型；在此基础上，研究微纳周期谐振滤波器以及宽带匹配网络的理论分析与综合方法，提出薄膜材料生长－器件建模优化－实验工艺验证一体化可实现的研究方案与技术路线，为进一步研究奠定基础。