超精密工作台的主动控制气磁混合支撑技术研究

提出了超精密工作台的主动控制气磁混合支撑技术，通过电磁力实现主动控制工作台正压单一平面静压气膜支撑，能有效地抑制气浮自激振动，使动静态刚度进一步提高，工作台运动分辨率可以提高到与传感器噪声相当的水平，且工作台的姿态角和垂直方向位移可以进行纳米分辨率的闭环调整。与现有的非接触支撑技术相比，该技术不改变气浮支撑方式的总体结构，在发热、结构形式和可靠性等方面具有气浮的优点，是一种实现更高精度超精密工作台的新技术研究。研究内容有气磁混合支撑的刚度特性研究和主动控制设计，基于在线辨识的气浮系统建模技术，自激振动的主动控制研究等，形成具有实用价值的气磁混合支撑研发技术和实验原型。.超精密工作台是极限制造装备的关键技术，本研究提出了一项原创性的超精密工作台瓶颈技术，理论上综合性能优良，可望使我国的超精密工作台技术达到国际领先水平，具有广泛的应用前景和巨大的社会经济效益。