光纤器件的亚微米制造理论与关键技术

光器件功以由光学设计和光信息零件的制造精度确定。本项目以光耦合、光连接、阵列波导光栅等为结合点，研究[光纤-零件]结合界面上光波传输畸变机理、实现器件光学原理的制造规律，建立基于亚微米精度的光学与结构参数、制造精度、工艺参数的融合模型与量值规律，建立光信息零件传输界面与制造界面的融合分析理论，形成零件关键制造技术解决方案。