单根纳米冷阴极电子源阵列的研究
基本信息
批准号：60601019
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：佘峻聪
学科分类：
依托单位：中山大学
批准年份：2006
结题年份：2007
起止时间：2007-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘飞,郑新国,柯彦淋,何浩,姚日晖,刘俊,关健成
关键词：
碳纳米管ZnO纳米线纳米尺度定位硅纳米线纳米电子源
结项摘要
电子束光刻是集成电路和光电集成工业以及新一代纳米器件研究领域中用于制作纳米图形的一项关键技术。目前使用的单电子束光刻存在产率低的问题，难以满足大面积高速纳米图形制作的要求，采用平行电子束光刻是解决上述难题的有效手段。本项目探索采用碳纳米管、ZnO纳米线和硅纳米线研制单根纳米冷阴极电子源阵列，目标应用为平行电子束光刻。研究内容包括：采用紫外光光刻和纳米催化剂颗粒定位相结合的方法实现纳米尺度定位，制备
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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