硅微机械谐振频谱模式识别阵列传感技术

创造性地提出了传感技术由三个层次组成的观点，研究了阵列传感技术的基础理论，给出了其数学描述。研究了人工神经网络的特点及其在阵列传感技术中的应用，用软件实现了频率识别的BP神经网络。创造性地提出了微机械阵列振动传感频谱分析系统，研究了利用该系统进行振动传感和频谱分析的方法，以及该系统对频率和加速度的灵敏度、分辨率和精度。创造性地提出了“传感单元对”的设计概念。研究了传感器阵列制造中几项关键技术，发现了（311）快腐蚀面，实现了腐蚀掩膜板的计算机辅助设计。在国内首次研制成功了用8个微机械压阻式加速度传感器构成的加速度传感器阵列，对其幅频特性和灵敏度进行了标定，探讨了在滚动轴承疲劳故障诊断中的应用。