双光子激光三维微加工工艺及机理研究

双光了激光微细加工是利用共焦显策镜与双光子吸收原理结合的微型三维快速成型制造技术。本项目将建立稳定的飞秒激光系统，具有无限远光路和纳米级扫描台的共焦显微镜，进行高分子纳米复合材料的微型功能器件的加工工艺和机理研究，进行微器件结构与性能评价。本项目将为我国微细加工工艺增添新方法，为发展具有自主知识产权工艺设备作出贡献。