精密氮化硅陶瓷轴承球表面改性研究

为提高氮化硅陶瓷球的加工精度和综合性能，采取了三条研究路线：特种研磨工艺，表面沉积致密超硬涂层后抛光处理，以及真空除气高压注入纳米材料。研究表明：两种表面改性技术可略微提高陶瓷球的极限破碎载荷20-30%，对表面加工损伤及微型气隙有弥补作用；可明显缩小动静摩擦系数差异，有利于减小陶瓷轴承的起动摩擦力矩；可延长磨损寿命1.5-1.8倍，其中，真空除气高压注入改性后可降低摩擦系数，有利于提高高速陶瓷轴承瞬时润滑不足时的工作可靠性。97年在国家科委资助下，本项研究及陶瓷轴承相关技术研究成果正在进行小批量中期试制，目前已能提供小批量超精密轴承用氮化硅球，即G5级陶瓷球。