电磁辐射在肿瘤放疗中的增效作用及机理的实验研究

采用电化学腐蚀、离子束刻蚀和溅射硬磁层法研制了一种曲率半径约为20nm的钨丝针，可用于MFM测试；沿用“七五”攻关课题成果制作硬磁盘MIG磁头和薄膜磁头，为课题研究提供了设计参数已智的测试磁头样品；研究了电子束蒸发NiFe AMR薄膜和磁控溅射NiFe AMR薄膜制备工艺及工艺参数对薄膜性能的影响；CAD设计了AMR传感器全套集成工艺掩模版结构图，并制造了一套掩模版；用上述NiFe AMR 薄膜及掩模版制作了传感器；用MFM观察了磁头前间隙边缘磁场分布、磁头极尖处磁畴、AMR膜磁畴及硬磁盘已存信息位的剩磁分布花样。对所观测的结果与原计划和某些理论计算结果进行了对比分析。