超硬质纳米复合膜及其低温沉积技术研究
基本信息
批准号：50572063
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：李铸国
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：华学明,吴毅雄,俞海良,王广伟,杨倩,赵良磊
关键词：
纳米复合膜低温沉积高密度低能量离子束超硬质
结项摘要
超硬质纳米复膜是一类硬度可以达到或超过金刚石的新型保护薄膜彩，具有很好的应用前景，近年来应起了世界范围内的广泛关注。但是，目前硬度可比金刚石的超硬质纳米复合膜仅能采用PACVD方法合成，而且超硬机理不明。基于保护环境的理由，低温物理气相沉积方法更适合于大规模工业合成。本项目的主要研究目标就是：采用物理气相沉积技术低温合成具有低残应力的和具有等轴结构的超硬质纳米复合膜。拟采用内置式诱导型耦合等离子体
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
DOI：10.7498/aps.67.20171903
发表时间：2018
2
农超对接模式中利益分配问题研究
农超对接模式中利益分配问题研究
DOI：10.16517/j.cnki.cn12-1034/f.2015.03.030
发表时间：2015
3
低轨卫星通信信道分配策略
低轨卫星通信信道分配策略
DOI：10.12068/j.issn.1005-3026.2019.06.009
发表时间：2019
4
动物响应亚磁场的生化和分子机制
动物响应亚磁场的生化和分子机制
DOI：10.13488/j.smhx.20190284
发表时间：2019
5
三级硅基填料的构筑及其对牙科复合树脂性能的影响
三级硅基填料的构筑及其对牙科复合树脂性能的影响
DOI：10.11951/j.issn.1005-0299.20200093
发表时间：2020
李铸国的其他基金
批准号：50971091
批准年份：2009
资助金额：32.00
项目类别：面上项目
批准号：51775338
批准年份：2017
资助金额：57.00
项目类别：面上项目
批准号：51171116
批准年份：2011
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
Ni－Cr纳米复合膜的硬质渗氮层制备和性能研究
批准号：50674082
批准年份：2006
负责人：彭晓
学科分类：E0414
资助金额：33.00
项目类别：面上项目
2
原位生成纳米粒子分子沉积复合膜的制备及其摩擦学特性研究
批准号：50975288
批准年份：2009
负责人：王德国
学科分类：E0505
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
3
超疏水纳米纤维电纺复合膜的制备及其膜蒸馏过程机理研究
批准号：51478454
批准年份：2014
负责人：侯得印
学科分类：E10
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
4
基于共格界面的超硬纳米复合膜强化机制及其普适性研究
批准号：51471110
批准年份：2014
负责人：李伟
学科分类：E0103
资助金额：80.00
项目类别：面上项目