超硬质纳米复合膜及其低温沉积技术研究
基本信息
批准号：50572063
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：李铸国
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：华学明,吴毅雄,俞海良,王广伟,杨倩,赵良磊
关键词：
纳米复合膜低温沉积高密度低能量离子束超硬质
结项摘要
超硬质纳米复膜是一类硬度可以达到或超过金刚石的新型保护薄膜彩，具有很好的应用前景，近年来应起了世界范围内的广泛关注。但是，目前硬度可比金刚石的超硬质纳米复合膜仅能采用PACVD方法合成，而且超硬机理不明。基于保护环境的理由，低温物理气相沉积方法更适合于大规模工业合成。本项目的主要研究目标就是：采用物理气相沉积技术低温合成具有低残应力的和具有等轴结构的超硬质纳米复合膜。拟采用内置式诱导型耦合等离子体
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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