纳秒强脉冲电子束产生瞬态等离子体与薄膜沉积

多极板赝大花放电室在直流电压作用下，能产生纳秒强脉冲电子束，这种高功率密度，高重复频率的脉冲电子束与靶物质相互作用，将产生含有载能团簇的瞬态高温等离子体。基于这一原理，本课题组在国际上率先开发了一种薄膜沉积的新方法，该方法兼有激光烧蚀法、离子束辅助沉积法和团簇沉积法的特点，又有许多独特之处，经过多年的理论和实验研究，证明这是一种能人工设计和剪裁具有特殊功能的新型薄膜的先进方法，利用这种新型薄膜沉积方法，开展了各种类型，如：难熔金属、高温超导氧化物、铁电材料、聚合物等材料的薄膜制备研究，受到国内外同行专家的广泛重视，并且与国内外有关单位开展多方位合作，推动赝火花放电的理论与实验研究，获奖二项。