大范围超精密定位系统相关理论研究

本项目研究基于大尺寸圆晶片的智能化直线电机＋PZT柔性铰链复合驱动式大范围区间X-Y平面快速超精密定位系统相关理论。包括复合双平台机械结构的理论分析及结构设计；X-Y两维平面超精密定位系统几何误差理论分析及相关几何精度补偿理论、补偿技术研究；基于直线电机的精密定位系统智能控制理论研究；基于PZT＋柔性铰链的超精密定位系统智能控制理论研究；复合双平台定位系统之间的无干扰平滑切换模型理论。.随着圆晶片尺寸向300mm、线宽特征尺度向0.1μm方向发展，对工艺设备运行范围及定位精度的要求越来越高。其中，超精密定位技术的水平几乎左右着工艺设备的性能。因此，大范围区间任意点超精密定位技术一直是国外厂商严密封锁的核心技术，而国内在超精密定位方面虽有研究，但对多维平台直线性理论及相关补偿技术的研究较少，结果难以满足大尺寸圆晶片的工艺要求。因此，研究大范围区间超精密定位技术相关理论有着十分重要的意义。