基于离子输运两群模型的溅射理论

定量溅射理论一直是离子束物理中未能解决的重要问题，本项提出应用离子输运两群模型降溅射的原子级联碰撞问题全面地建立在精确的输运理论基础之上。从而提出一个普遍、定量的新溅射理论。此理论由于从根本上解决了已有解析溅射理论的困难而有可能成为最精确的解析溅射理论。另一方面在计算效率上又比随机模拟的蒙特卡罗法高数百倍到数万倍。