基于熵原理的超精密光学研抛工艺方法与技术研究

本项目以超精密、超光滑光学平面、超精密非球面研抛加工工艺方法与技术为对象，将熵原理引入超精密加工工程中，通过理论分析和实验建立基于熵原理的超精密、超光滑光学研抛工艺设计优化方法，为改善现行加工工艺和设备提供有价值的科学根据。基于熵原理的超精密光学研抛工艺方法与技术研究是第一次将熵原理引入超精密加工工程中，国内外尚未见过有关报道。其研究的意义是：.1)揭示超精密研抛工艺的内在科学本质，寻找自修正功能的统一描述和表述方法；.2)用熵理论指导工艺参数选择和参数的优化，可提高光学研抛的工效，减小盲目性；.3)在用熵理论指导下开发新的研抛工艺装备和工艺方法。