高分辨率的扫描探针声显微镜

扫描探针声显微镜(SPAM)是开展原位、实时、纳米尺度上材料表面和亚表面的力学性质和结构无损检测和成像的新技术，对促进纳米科学和技术的发展有重要意义。在初步实验发现的基础上，进一步开展高分辨率的扫描探针声显微镜的低频成像理论、实验和技术的研究，理解低频工作模式下SPAM的信号激发机理，掌握提高SPAM像分辨率的技术，开发与商品扫描探针显微镜可兼容的声信号激发和检测系统，形成有自主知识产权的新的高分辨率扫描探针声显微镜工作模式。