大尺寸、高质量的氧化锌(ZnO)晶体是研究制作GaN、ZnO等发光电子器件的重要衬底材料,特别是作为ZnO薄膜的衬底材料,ZnO体单晶具有任何其他衬底材料无法比拟的优势―同质外延,应用潜力巨大。国外实践证明水热法是生长高质量、大尺寸(3英寸)ZnO体单晶的有效方法,因此本项目将开展"大尺寸、高质量ZnO晶体的水热法生长关键科学技术问题研究"这一课题,系统地研究解决我国在水热法生长大尺寸、高质量的Z
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数据更新时间:2023-05-31
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