微系统中的金属材料腐蚀行为及机理研究

微系统是微机械、微电子和微光学单元的集成系统。微系统的腐蚀行为和机理有别于宏系统，微力学、微光学、微结构和表面物理效应及微区化学过程等都会对微系统的腐蚀产生显著的影响。研究微系统的腐蚀失效规律和机理以及与宏系统的差异性，不仅对微系统的发展和应用具有十分重要的战略意义，也是腐蚀科学自身发展的重大需求。本研究利用飞秒激光加工技术、原子力显微镜及其探针刮擦技术、微动实验平台，结合原位电化学噪声和阻抗谱等研究方法，研究微米尺度的304不锈钢和Ni-P非晶态合金薄膜试件在含氯离子介质中的点蚀和腐蚀疲劳行为，探讨微试件表面腐蚀电化学反应和传质过程的动力学特征，以及微米尺度的薄膜合金材料力学-电化学交互作用规律，探索微系统腐蚀行为的规律和机理以及与宏系统的差异性，为微系统腐蚀的研究奠定初步基础。