大功率超声波振动悬浮系统的研究

超声波悬浮技术是利用声场中的辐射压力与物体的重力相平衡时，物体没有明显的机械支撑而使其悬浮在声场中。本项目研究出具有PLL频率自动跟踪系统、恒振幅控制系统的发生器；用有限元法设计出由纵向振动驱动的振动悬浮板，通过实验测试，共振频率与设计值的偏差＜5%，振动位移分布80%。辐射面积为600cm（2），振动位移与悬浮物体重量及体积成正比关系。该成果可用于IC硅片的悬浮传输、材料的提纯、生物工程等，可避免与容器接触，提高纯度。本项目研究成果的一部分已应用于超声波清洗、塑料超声熔焊等，绿色非ODS超声波清洗系统研究，已列为国家自然科学基金委重点推广项目。发表论文8篇，其中SCI收录2篇，EI收录1篇。申请获准专利2项。