同步辐射光学元件碳污染清洁机理研究

本项目旨在系统的研究受同步辐射碳污染光学元件的清洁处理机理。主要研究内容有：1)以国家同步辐射实验室计量光束线为基础，研究压力、时间、充气速率和同步辐射束流强度等不同因素对同步辐射活化氧清洁处理的影响。2)深入研究清洁过程中的物理变化和化学反应。3）通过大量的实验，建立在不同参数条件下清洗速率的数据库。4)在分析研究的基础上，提出一种多参数优化的同步辐射活化氧清洁方法。.对于同步辐射光学元件受碳污染的问题，目前采用反复更换元件的办法来解决。同步辐射光学元件的材料质量、面形、粗糙度等要求很高，制造工艺复杂、检测难度大，故造价十分昂贵且多为国外进口。反复更换既不经济又因光学元件的精确复位和超高真空的再获得而浪费大量的时间。并且元件的更换仅是暂时和短效的，特别是在100-1000eV波段使用几个星期后污染效应又出现了，所以辐照污染的光学元件的再生利用是各同步辐射实验室急需解决的重要问题。