纳米干涉测长中的非线性问题研究

基本信息
批准号:50675141
项目类别:面上项目
资助金额:30.00
负责人:侯文玫
学科分类:
依托单位:上海理工大学
批准年份:2006
结题年份:2009
起止时间:2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:戴曙光,杨永才,李劲松,王涛,王俊,许琦欣
关键词:
激光干涉仪非线性误差纳米测长
结项摘要

激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的缺陷,导致被测信号中出现附加的相位误差,使测到的相位位移和被测长度不成线性关系。这个随着被测长度以光波波长为周期变化的非线性误差存在于所有的激光干涉仪,一般在一、两个纳米到一、二十个纳米的范围内,成为现有激光干涉仪难以逾越的精度极限。本申请者在多年研究激光干涉仪非线性的基础上,研究出减小和消除激光干涉仪非线性误差的方法。它们可以应用在大部分的科学实验和工业制造中的纳米长度测量中,而且,不论是一阶或二阶误差,也不论是什么原因引起的非线性误差,都可以通过这个方法被消除。

项目摘要

项目成果
{{index+1}}

{{i.achievement_title}}

{{i.achievement_title}}

DOI:{{i.doi}}
发表时间:{{i.publish_year}}

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数据更新时间:2023-05-31

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