光电化学方法处理半导体制造设备工业中废气PFCs的探索性研究
基本信息
批准号：29877003
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：杨迈之
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李卫华,叶于浦,刘淑珍,高恩勤,乔学斌
关键词：
光电化学光电子注入PFCs降解
结项摘要
探索采用光电化学方法处理半导体工业废气PFCs（Perfluorocompands）的技术可行性。进行金属光电子注入法（PIMES）还原PFCs机理方面的研究。验证并完善实验室条件下PIMES法还原SF6，NF3的实验技术，收集有关数据，寻找最佳反应条件，并以此为基础进一步研究应用此方法处理氟烷烃（PerfluoroCarbons）的技术可行性。最终为光电化学方法在解决大肪澄廴痉矫娴挠τ媒刑剿餍匝芯俊
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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