离子感生电荷（IBIC）显微术研究
基本信息
批准号：19975065
项目类别：面上项目
资助金额：15.00
负责人：朱节清
学科分类：
依托单位：中国科学院上海应用物理研究所
批准年份：1999
结题年份：2002
起止时间：2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陆荣荣,王基庆,郭盘林,裘惠源,李铭尧
关键词：
微电子学核探针离子束感生电荷
结项摘要
在高分辨率核探针基础上开展离子束感生电荷显微术研究，与国际原子能机构研究项目配合，发展核探针在微电子和半导体科学中的应用。通过观测离子束感生电荷，研究半导体材料和微电子器件中电荷传输过程的物理机制。揭露被掩盖的集成电路的多层和深层结构的电学状态，以每个PN结为单元研究新材料和新电路结构抗辐射SEU免疫能力。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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